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渗氮（Nitriding）也称为氮化，是金属的热处理制程，将氮扩散到金属表面，以形成硬化的表面.渗氮制程最常用在低碳钢、低合金钢上，也会用在中碳钢或高碳钢、含钛、铝、钼等合金钢上。
2015年时，已用渗氮来产生独特的二元微结构（马氏体-奥氏体，奥氏体-肥粒铁），这些结构具有强化的机械性质 [1]。
典型的齿轮、曲轴、凸轮轴、凸轮从动件、阀门、挤型螺丝、压铸工具、锻造模具、挤压、消防设备、塑胶模塑工具[2]。
制程
渗氮制程是依照加氮的介质来命名。主要可以分为三种：气体渗氮、盐浴渗氮及电浆渗氮。
气体渗氮
气体渗氮的加氮介质是富含氮的气体，多半是氨（NH3），因此有时也称为氨渗氮（ammonia nitriding）。氨和加热的工件表面接触时，氨会分解为氮及氢。氮会渗透到工件表层，形成氮化层。在一世纪之前就已有此一制程，但最近数十年才比较多的探讨其中的热力学及反应动力学。近来的研究已产生可以准确控制的制程。可以选择氮化层的厚度，以及其中的相组成，也可以针对所需要的特殊性质进行制程的最佳化。
气体渗氮的优点有：
- 透过控制外围含氮气体中，氮气及氧气的流率，可以确准的控制氮气的化学能。
- 所有表面都有渗氮的效果（相较于电浆渗氮，但可能会是缺点）
- 可以大批量的制程。限制因素是气化炉的尺寸以及气体流率
- 透过现代电脑化的控制含氮气体，可以精密控制渗氮的效果
- 设备成本较低（尤其是和电浆渗氮比较）
气体渗氮的缺点有：
- 其反应动力学会大幅受到表面条件的影响：若表面有油，或是被切削液污染，渗氮效果就会很差。
- 若是处理高含铬的钢，有时需要表面活化（surface activation），可以和电浆渗氮中的溅镀（sputtering）相比较。
- 作为渗氮介质的氨：虽然没有毒性，但若大量吸入气体，仍然会造成伤害。而且在加热时，若其中含有氧气，需谨慎处理，以降低爆炸的风险。
盐浴渗氮
盐浴渗氮的富氮介质是含氮的盐类，例如氮化物。这种盐也会释放碳到工件的表面，因此也是渗氮碳化。在渗氮碳化使用的温度约是550至570;°C。盐浴渗氮的好处是相较于其他方式，此方式可以在相同时间内有较高的渗透量。
盐浴渗氮的优点有：
- 处理快速：大约四小时即可完成。
- 程序简单：让盐浴的盐淹没工件，加热到一定时间即可。nspired.
缺点是：
- 盐浴的盐有高毒性。西方国家对于盐浴盐的弃置有严格的环境法律要求，因此增加了盐浴的成本。这也是这数十年来已不再使用盐浴的原因。
- 每一种特定种类的盐只适合用于一种制程，因为氮的活性是由盐类决定的，只适合一种制程。
电浆渗氮
电浆渗氮也称为离子渗氮、电浆离子渗氮、辉光放电渗氮，是工业上针对金属材料进行表面硬化的方式。
在电浆渗氮时，氮介质的反应能力不是由温度决定，而是由气体的离子态决定。此技术中会用高电场使要氮化工件表面的气体产生离子化的分子。这种高反应性的气体伴随著离子化的分子，称为电浆，此制程因此称为电浆渗氮。电浆渗氮用的气体一般是纯氮气，因此不需要自发性的分解（像使用氨的气体渗氮就需要分解）。有用电浆炬产生的热电浆，用在金属切割、焊接、金属包覆及喷涂上。也有在真空腔体或是低压强条件产生的冷电浆。
钢在电浆渗氮的效果最好。此制程可以针对渗氮的微结构进行精细的控制，可以让渗氮产生化合物层，或是不要化合物层。不但强化下了金属部份的性能，也增加了工件的寿命、应力限及疲劳强度。例如沃斯田钢不锈钢的机械性质（例如耐磨程度）可以显著提升，工具钢的表面硬度也可以加倍[3]。
电浆渗氮后的工件一般就可以使用了，不需加工或是其他渗氮后的制程。此制程对使用者很友善，作业很快，节省能源，而且变形量不大，或甚至不会变形。
此制程是由德国的Bernhardt Berghaus博士所发明。后来在1960年代，Klockner集团采用了此一技术，电浆渗氮法也开始广为在世界各地使用。
电浆渗氮常会和物理气相沉积（PVD）制程结合，称为复合处理（Duplex Treatment），而且有增强性的效果。许多使用者会在最后一个步骤让工件表面有电浆氧化层，产生光滑的黑色氧化层，可以抗腐蚀及抗磨损。
电浆渗氮的氮离子是因为电浆而产生，和气体渗氮及盐浴渗氮不同，电浆渗氮的效率不受温度的影响。电浆渗氮的工作温度范围很广，从260 °C到超过600 °C的温度范围[4]。例如在中等温度（例如420 °C），可以对不锈钢进行渗氮，不会形成氮化铬的析出，因此可以维持不锈钢抗蚀的特性。
在电浆渗氮制程中，一般会用氮气N2作为富含氮的介质。有时也会用氢气或是氩气等气体。在渗氮之前，可以在加热工件时用氢气或是氩气，清洁要渗氮的表面。此清洁程序可以有效的移除表面的氧化层，或是表面可能会残留的薄层溶剂。也有助于电浆制程的热稳定性，因为在预热工件时就已经有电浆进行加热，因此只要到达制程需要的温度，就可以开始进行渗氮，不会有太大的热能变化。在渗氮制程中也会加入氢气H2，使表面不会有氧化层。可以用分析渗氮工件的表面来检测此效果。
参考文献
- ↑ Meka, S.R.; Chauhan, A.; Steiner, T.; Bischoff, E.; Ghosh, P.K.; Mittemeijer, E.J. Generating duplex microstructures by nitriding; nitriding of iron based Fe–Mn alloy. Materials Science and Technology. 2015: 1743284715Y.000. doi:10.1179/1743284715Y.0000000098.
- ↑ Template:Ullmann
- ↑ Menthe, E; Bulak, A; Olfe, J; Zimmermann, A; Rie, KT. Improvement of the mechanical properties of austenitic stainless steel after plasma nitriding. Surface and Coatings Technology. 2000, 133 (1): 259. doi:10.1016/S0257-8972(00)00930-0.
- ↑ Zagonel, L; Figueroa, C; Droppajr, R; Alvarez, F. Influence of the process temperature on the steel microstructure and hardening in pulsed plasma nitriding. Surface and Coatings Technology. 2006, 201 (1-2): 452. doi:10.1016/j.surfcoat.2005.11.137.