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[[File:X射线光电子能谱学.jpeg|有框|右|<big>X射线光电子能谱学</big>[https://pic2.zhimg.com/80/v2-f3e273131eab31c1146ec785623f1d5c_720w.jpg 原图链接][https://zhuanlan.zhihu.com/p/28159851 来自 知乎 的图片]]] '''X射线光电子能谱学'''(英文:X-ray photoelectron spectroscopy,简称XPS)是一种用于测定[[材料]]中元素构成、实验式,以及其中所含[[元素]]化学态和电子态的定量能谱技术。这种[[技术]]用X射线照射所要分析的材料,同时测量从材料表面以下1纳米到10纳米范围内逸出[[电子]]的[[动能]]和数量,从而得到X射线光电子能谱。X射线光电子能谱技术需要在超高真空环境下进行<ref>[https://www.sohu.com/a/305921056_120076332 X射线光电子能谱分析方法及原理(XPS) ],搜狐,2019-08-05 </ref>。 XPS是一种表面化学分析[[技术]],可以用来分析[[金属]]材料在特定状态下或在一些加工处理后的[[表面化学]]。这些加工处理方法包括空气或超高真空中的压裂、切割、刮削,用于清除某些表面污染的离子束蚀刻,为研究受热时的变化而置于加热环境,置于可反应的[[气体]]或溶剂环境,置于离子注入环境,以及置于紫外线照射环境等。
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