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[[File:X射线光电子能谱学.jpeg|有框|右|<big>X射线光电子能谱学</big>[https://pic2.zhimg.com/80/v2-f3e273131eab31c1146ec785623f1d5c_720w.jpg 原图链接][https://zhuanlan.zhihu.com/p/28159851 来自 知乎 的图片]]] '''X射线光电子能谱学'''（英文：X-ray photoelectron spectroscopy，简称XPS）是一种用于测定[[材料]]中元素构成、实验式，以及其中所含[[元素]]化学态和电子态的定量能谱技术。这种[[技术]]用X射线照射所要分析的材料，同时测量从材料表面以下1纳米到10纳米范围内逸出[[电子]]的[[动能]]和数量，从而得到X射线光电子能谱。X射线光电子能谱技术需要在超高真空环境下进行 <ref>[https://www.sohu.com/a/305921056_120076332 X射线光电子能谱分析方法及原理(XPS) ]，搜狐，2019-08-05 </ref> 。
XPS是一种表面化学分析[[技术]]，可以用来分析[[金属]]材料在特定状态下或在一些加工处理后的[[表面化学]]。这些加工处理方法包括空气或超高真空中的压裂、切割、刮削，用于清除某些表面污染的离子束蚀刻，为研究受热时的变化而置于加热环境，置于可反应的[[气体]]或溶剂环境，置于离子注入环境，以及置于紫外线照射环境等。
==XPS的历史==
1887年，[[海因里希·鲁道夫·赫兹]]发现了光电效应，1905年，[[爱因斯坦]]解释了该现象，并为此获得了1921年的[[诺贝尔物理学奖]]。两年后的1907年，P.D. Innes用伦琴管、亥姆霍兹线圈、磁场半球（电子能量分析仪）和照像平版做实验来记录宽带发射电子和[[速度]]的函数关系 <ref>[http://zjhl88.blog.sohu.com/255713540.html X射线光电子能谱分析(XPS) ]，搜狐博客，2013-02-23 </ref> ，他的实验事实上记录了人类第一条X射线光电子能谱。其他研究者如亨利·莫塞莱、罗林逊和罗宾逊等人则分别独立进行了多项实验，试图研究这些宽带所包含的细节内容。
XPS的研究由于战争而中止，[[瑞典]][[物理学家]][[凯·西格巴恩]]和他在乌普萨拉的研究小组于[[第二次世界大战]]后，在研发XPS设备中获得了多项重大进展，并于1954年获得了氯化钠的首条高能高分辨X射线光电子能谱，显示了XPS技术的强大潜力。1967年之后的几年间，西格巴恩就XPS技术发表了一系列学术成果，使XPS的应用被世人所公认。在与西格巴恩的合作下，美国[[惠普|惠普公司]]于1969年制造了世界上首台商业单色X射线光电子能谱仪。1981年西格巴恩获得诺贝尔物理学奖，以表彰他将XPS发展为一个重要分析技术所作出的杰出贡献。
==视频==
===<center> X射线光电子能谱学 相关视频</center>===
<center>X射线光电子能谱原理及技术特点</center>
<center>{{#iDisplay:s09786dzew2|560|390|qq}}</center>
<center>X射线光电子能谱最新应用进展</center>
<center>{{#iDisplay:r0952hanv8g|560|390|qq}}</center>
==参考文献==
[[Category:330 物理學總論]]