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中国科学院上海微系统与信息技术研究所（英语：Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology, Chinese Academy of Sciences），简称上海微系统所，是中华人民共和国一家主要关注半导体材料和器件、集成电路、超导等领域的专业研究机构，是中国科学院直属正局级单位，其前身为1928年正式创立于上海的国立中央研究院工程研究所。中国科学院“率先行动”计划 <ref>[http://news.sciencenet.cn/htmlnews/2014/8/301645.shtm 光明日报：中科院启动“率先行动”计划]，科学网，2014-8-20 </ref> 将上海微系统与信息技术研究所定位为卓越创新中心。

1927年11月20日，蔡元培主持召开中央研究院筹备会议，会议通过了《中华民国大学院中央研究院组织条例》并决定优先筹备设立理化实业研究所等四个研究机构。理化实业研究所分为物理组、化学组和工程组，主要关注基础科学研究，但也包括实用的工程学。1928年6月9日，中央研究院第一次院务会议在上海召开，蔡元培宣布中央研究院正式成立 <ref>[http://www.huaxia.com/qqla/csdh/nj/2008/03/917717.html 蔡元培与中央研究院]，华夏经纬网，2008-03-06 </ref> 。院务会议之后不到一个月，理化实业研究所筹备工作即宣告完成。事实上，理化实业研究所正式成立之时就分为物理、化学和工程三个研究所，由周仁出任工程研究所所长。起初三个研究所合设于上海市霞飞路899号办公，后又一同搬至白利南路理工实验馆。抗日战争期间，工程研究所迁往昆明。1945年更名为国立中央研究院工学研究所。1946年，工学研究所返回上海理工实验馆开展工作，钢铁研究部分留在昆明成为工作站。