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MEMS加速器
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微机电系统-加速器(MEMS Accelerometer)是一种采用MEMS技术所制造的惯性传感器元件，基于牛顿第二理论基础下的应用技术，用来测量物体的加速度力，估算线性速率变化，其尺吋缩小到只有指甲盖的几分之一。早期是应用在汽车市场，提供撞击缓冲防护的安全气囊与防止车辆侧滑的电子车身稳定系统等，如今以在生活当中发挥重要作用。应用惯性运动定律原理，可设计出单轴、双轴、三轴加速器，基本加速器包含一个机械式MEMS感测器及一个特定的ASIC介面晶片。

MEMS加速器衍生出三种设计，说明如下：

压电式：运用压电效应，内部有一个刚体支撑的质量块，在运动状况下，质量块会产生压力，刚体产生变化，将加速度转变成电压信号输出。这种加速器只能感应到“动态”加速度(重力加速度)，不能感应用“静态”加速度。主要发展的厂商多为日系厂商。

电容式：内部也有一个质量块，在加速度时，会带动活动质量块移动，改变电容两极的间距及正对面积，进而测量出电容变化量来计算加速度。主要发展的厂商多为欧美厂商。

热感式：内部没有任何质量块，中央有一加热体，周边为温度传感器(密闭的气腔)，在加热体的作用下，气体会在内部现成热气团，热气团的比重与周围冷空气出现差异，透过惯性热气团的移动，而形成热场变化，进而感应器则感应到加速度的值。

加速器主要应用在振动检测、姿态控制、安防报警、消费应用、动作识别、状态记录等，其中，振动检测的应用，是用在手提电脑之中的“硬碟保护”，或是光学防手震装置(数位相机、摄影机)，还有动作感知功能，得以透过手势识别介面控制行动装置，并为游戏控制器、智慧遥控器、3D滑鼠等。其他应用还有包括个人化惯性导航、健康运动侦测、人体动作感知应用、车辆翻覆侦测、卫星撞击侦测等。

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微机电系统技术之简介