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MEMS加速器
MEMS加速器照片來自

微機電系統-加速器(MEMS Accelerometer)是一種採用MEMS技術所製造的慣性傳感器元件，基於牛頓第二理論基礎下的應用技術，用來測量物體的加速度力，估算線性速率變化，其尺吋縮小到只有指甲蓋的幾分之一。早期是應用在汽車市場，提供撞擊緩衝防護的安全氣囊與防止車輛側滑的電子車身穩定系統等，如今以在生活當中發揮重要作用。應用慣性運動定律原理，可設計出單軸、雙軸、三軸加速器，基本加速器包含一個機械式MEMS感測器及一個特定的ASIC介面晶片。

MEMS加速器衍生出三種設計，說明如下：

壓電式：運用壓電效應，內部有一個剛體支撐的質量塊，在運動狀況下，質量塊會產生壓力，剛體產生變化，將加速度轉變成電壓信號輸出。這種加速器只能感應到「動態」加速度(重力加速度)，不能感應用「靜態」加速度。主要發展的廠商多為日系廠商。

電容式：內部也有一個質量塊，在加速度時，會帶動活動質量塊移動，改變電容兩極的間距及正對面積，進而測量出電容變化量來計算加速度。主要發展的廠商多為歐美廠商。

熱感式：內部沒有任何質量塊，中央有一加熱體，週邊為溫度傳感器(密閉的氣腔)，在加熱體的作用下，氣體會在內部現成熱氣團，熱氣團的比重與週圍冷空氣出現差異，透過慣性熱氣團的移動，而形成熱場變化，進而感應器則感應到加速度的值。

加速器主要應用在振動檢測、姿態控制、安防報警、消費應用、動作識別、狀態記錄等，其中，振動檢測的應用，是用在手提電腦之中的「硬碟保護」，或是光學防手震裝置(數位相機、攝影機)，還有動作感知功能，得以透過手勢識別介面控制行動裝置，並為遊戲控制器、智慧遙控器、3D滑鼠等。其他應用還有包括個人化慣性導航、健康運動偵測、人體動作感知應用、車輛翻覆偵測、衛星撞擊偵測等。

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微機電系統技術之簡介